涂硼專用設(shè)備由冷藏柜、通風(fēng)柜和涂硼工裝組成,用于堆用探測器的表面涂硼,設(shè)備滿足涂硼化學(xué)試劑的存儲,同時(shí)滿足涂硼過程中化學(xué)試劑揮發(fā)的排放需求,設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)涂硼溶液的自動配置和涂硼時(shí)間的自動控制。
涂硼專用設(shè)備特點(diǎn):
涂硼工裝的通用性強(qiáng),可以滿足堆用探測器不同尺寸的工件需求。
設(shè)備具有重要工藝過程參數(shù)的自動采集、記錄、存儲、輸出的功能。